Pietsoresistiivinen paineanturi
Vastusvenymämittari on yksi pietsoresistiivisen venymäanturin pääkomponenteista. Metallin vastusvenymämittarin toimintaperiaate perustuu ilmiöön, että alustalle adsorboituneen venymämittarin vastus muuttuu mekaanisen muodonmuutoksen myötä, joka tunnetaan yleisesti vastusvenymävaikutuksena.
Keraaminen paineanturi
Keraaminen paineanturi perustuu pietsoresistiiviseen vaikutukseen. Paine vaikuttaa suoraan keraamisen kalvon etupintaan aiheuttaen lievän muodonmuutoksen. Keraamisen kalvon takapuolelle on painettu paksu-kalvovastus, joka muodostaa Wheatstonen sillan. Pietsoresistiivisen vastuksen pietsoresistiivisestä vaikutuksesta johtuen silta tuottaa erittäin lineaarisen jännitesignaalin, joka on verrannollinen paineeseen ja myös verrannollinen herätejännitteeseen. Vakiosignaalit on kalibroitu arvoon 2,0/3,0/3,3 mV/V jne. painealueesta riippuen, ja ne ovat yhteensopivia venymäantureiden kanssa.
Diffusoitu silikonipaineanturi
Myös diffuusoidun piipaineanturin toimintaperiaate perustuu pietsoresistiiviseen vaikutukseen. Tätä periaatetta hyödyntäen mitatun väliaineen paine vaikuttaa suoraan anturin kalvoon (ruostumaton teräs tai keraaminen) aiheuttaen kalvon mikrosiirtymän, joka on verrannollinen väliaineen paineeseen. Tämä johtaa muutokseen anturin vastuksessa. Elektroniikkapiiri havaitsee tämän muutoksen ja tulostaa tätä painetta vastaavan standardin mittaussignaalin.
Sapphire paineanturi
Tämä anturi käyttää venymämittariperiaatetta ja käyttää pii{0}}safiiria puolijohde-anturielementtinä, jolla on vertaansa vailla olevat metrologiset ominaisuudet. Siksi pii-safiirista valmistetut puolijohde-anturielementit eivät ole herkkiä lämpötilan muutoksille ja niillä on erinomaiset toimintaominaisuudet jopa korkeissa lämpötiloissa. safiirilla on vahva säteilynkestävyys; lisäksi pii-safiiripuolijohde-anturielementeillä ei ole p-n ajautumista.
Pietsosähköinen paineanturi
Pietsosähköinen vaikutus on pietsosähköisten antureiden tärkein toimintaperiaate. Pietsosähköisiä antureita ei voida käyttää staattisiin mittauksiin, koska varaus säilyy ulkoisen voiman kohdistamisen jälkeen vain, kun piirin tuloimpedanssi on ääretön. Koska näin ei ole todellisuudessa, pietsosähköiset anturit voivat mitata vain dynaamista jännitystä.